真空碳氢清洗设备是由超声波系统，真空脱气系统，循环过滤系统，机械臂系统，真空干燥系统，真空蒸馏回收系统，HC浓度监测系统，自动灭火系统，电气控制系统等组成。
与其他超声清洗设备一样，真空清洗设备中主要是利用超声波空化效应提高洗净力,最基本的组成是：超声波发生器，换能器和清洗槽。超声频率一般在25～40kHz，换能器由多个振头并联组成，电能被转换成机械振动能，并通过换能器传递到清洗槽中，使清洗液形成疏密相间的超声波声场，清洗液中的微气泡（空化核）在声场的作用下振动、生长和突然闭合，而在气泡周围产生极大的冲击波，形成几千到上万的大气压以及瞬时高温，这就是超声波的“空化”作用。
空化作用具有非常优良的清洗和乳化作用，使油污脱离工件的表面，从而达到了快速、干净的清洗。
在清洗过程中，清洗槽内的液体残存的气体较多，含气量通常是水的8~10倍，增强了超声波传播衰减，含气的空化泡会降低空化强度，影响了超声波的空化效应和清洗效果。当采用真空清洗时，清洗槽盖会自动关闭，真空脱气系统启动，将槽内空气抽尽，在真空状态下将盲孔、缝隙内及清洗剂中的气体抽出，超声波启动，摇摆装置启动，带动篮转动，到设定的清洗时间后，真空释放，缸盖自动打开，清洗篮进入下一槽进行碳氢系统洗净。
真空碳氢清洗机技术特点：
１）设置脱气装置，提高超声波效果
液体在常压下溶解有大量空气，降低了超声波的空穴强度，因而不能达到最佳清洗效果；
2）真空清洗干燥的优点
被清洗零件进入蒸汽清洗干燥槽后，干燥槽内迅速形成真空，碳氢化合物沸点下降，溶剂迅速蒸发，缩短了干燥时间，同时避免了热风干燥带来的二次污染及不安全性，提高干燥效果。其优点如下：
（1）能吸出盲孔、狭缝以及零件之间的空气，使清洗液容易流入，清洗能力大幅提高；
（2）清洗液经脱气后，超声清洗效果更好；
（3）可以将清洗液加热至闪点以上，使清洗液对污垢的溶解力倍增；
（4）在清洗工序中，利用高温清洗液传递给被洗零件均衡的热量，使干燥工序得以顺利进行；
（5）在真空状态下，溶液沸点下降，蒸发速度加快；同时，因迅速形成真空，使附着在物体上的溶剂一同挥发。
（6）替代ODS，该技术可涵盖传统的氟里昂、三氯乙烷等清洗设备，清洗剂对塑胶材料无溶胀性，可安全用于精密马达/塑胶制品的除油污清洗，尤其对有盲孔、狭缝或易叠加零件、冲压件等设备清洗效果显著，是目前替代ODS较为理想的清洗设备。
真空碳氢清洗机是利用超声波渗透力强的机械震动力冲击工件表面，并结合碳氢清洗剂的化学去污作用，在真空状态下进行全面清洗，使工件表面和盲孔、狭缝干净。
